|  | | | 過濾精度 | 處理空氣量 | 配管連接口徑 | | 5μm | 10～40 l/min | 4mm.6mm接頭 |
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|  | |  | ●安置在真空回路里，可以任意設(shè)定真空的壓力值。
●輕便，小巧，只需在閥內(nèi)開孔即可輕松安裝面板 | |
|  | | 壓力設(shè)定
kPa | 處理空氣量 | 配管連接口徑 | | -1.3～-100 | 0～110 l/min | Rc1/4 |
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| | | | ●采用真空先導(dǎo)式，變化流量下也能保持很強(qiáng)的穩(wěn)定性。
●另外備有外部先導(dǎo)式樣 | |
|  | | 壓力設(shè)定
kPa | 最大輸入流量 | 配管連接口徑 | | -2.5～-95 | 200 l/min | Rc1/8～Rc1/4 |
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